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平面CT

    平面CT是对板状结构检测器件内部质量状态与结构信息检测的专用工具,可用于PCB板、BGA、集成芯片等板状结构器件的高分辨成像质量评定与分析。重建扫描区域三维断层图像,实现对板状结构检测器件及板状电器器件制造缺陷的空间定位,实现对板状电器部件及元器件电路图的CAD设计。


主要技术参数
●管电压:20kv ~225kv 
●焦点尺寸:1μm~5μm 
●空间分辨力:0.6μm~50μm
●密度分辨率:0.3%~0.5% 
●扫描方式:锥束扫描 
●探测器:数字平板控制器

 

   

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